嘉興GMP純水設(shè)備解讀;半導體研磨廢水的處理方法及分類
2022/11/16 15:34:04 點擊:
【上海水處理設(shè)備網(wǎng)shwebi.cn】近年來,隨著科學技術(shù)的不斷進步和人民需求的不斷增加,我國半導體消費行業(yè)發(fā)展迅速,然而也有少量半導體廢水排放。那么下面就來說說半導體研磨廢水的處理方法。 在集成電路封裝的制造過程中,會對晶圓進行切割和研磨,并用超純水清洗,因此會產(chǎn)生少量的切割和研磨廢水。目前國內(nèi)很多廠家采用混凝沉淀和濾袋過濾的方法,嘉興GMP純水設(shè)備出水達到污水綜合處理排放標準。 一種半導體研磨廢水的處理方法及純水設(shè)備,其特征在于,包括以下步驟: (1)通過廢水收集箱收集硅片研磨產(chǎn)生的廢水; (2)用水泵將廢水泵入多介質(zhì)過濾器進行初步過濾; (3)將一次過濾后的水送入保安過濾器進行二次過濾,保安過濾器用于屏蔽超濾膜; (4)將第二次過濾后的水送入超濾膜過濾裝置進行第三次過濾; (SDI計或濁度計用于測量和確定第三次過濾的水是否能滿足第一次設(shè)定的規(guī)格要求,如果滿足規(guī)格要求,則送至生產(chǎn)水箱;
“本文由上海皙全水處理設(shè)備網(wǎng)提供任何人和單位不得轉(zhuǎn)載盜用”。
- 上一篇:歐盟議會針對新污染物提出了“四級處理(Quaternary 2022/11/22
- 下一篇:祝賀蘇州皙全純水設(shè)備有限公司年初八開工大吉 2018/2/23